UNIPOL-2001型精密研磨拋光機

UNIPOL-2001型精密研磨拋光機設有三個加工工位，是可進行大尺寸樣品磨拋的落地式磨拋機，用于晶體、陶瓷、金屬、玻璃、巖樣、礦樣、PCB板、紅外光學材料（如硒化鋅、硫化鋅、硅、鍺等晶體）、耐火材料、復合材料等材料的研磨拋光制樣，是科學研究、生產實驗理想的磨拋設備之一。本機設置了?508mm的研磨拋光盤和三個加工工位，可用于研磨拋光≤?160mm的圓片或對角線長≤160mm的矩形平面。在研磨過程中三個加工工位可以一定的頻率左右擺動，同時推動載物塊左右擺動，載物塊在進行自轉的同時隨著研磨盤公轉，使樣品做無規則運動，使研磨后的樣品表面質量均勻。研磨拋光機配備的載物塊是具有高的平面度和平行度的精密圓柱狀金屬塊，使研磨后的樣品表面也具有高的平面度，并且不會使樣品邊緣倒角，對邊緣要求高的樣品尤其適合。若配置適當的附件（GPC系列精密磨拋控制儀），可批量生產高質量的平面磨拋產品，例如直徑≤?160mm晶圓樣品的研磨與拋光。采用研磨盤加磨料的方式研磨樣品，也可以選用拋光盤貼砂紙的方式研磨樣品，砂紙或拋光墊采用磁力吸附的方式裝卡，裝卸方便。具體選用砂紙研磨還是磨料研磨可根據被研磨樣品的材質進行選擇。