VTC-200-SE 8寸柜式噴膠機

產品名稱

VTC-200-SE 8寸柜式噴膠機

主要特點

1、全柜式集成結構，工業級設計

2、大適合8寸晶圓，向下兼容，基片工裝方便更換

3、XYZ三軸電缸設計，噴頭高度程序可設置

4、轉盤加熱旋轉系統，工作區高熱均勻性

5、微量平流系統，流速平穩，流量精確可調

6、采用超聲噴霧系統，霧化顆粒均勻，功率可調

7、帶基片吸附和電動頂針功能，方便上下片和計時功能

8、帶膠液監測功能，頂部抽風，保證工業生產需要

9、七寸全彩觸屏操作，手動調試和自動運行兩種操作模式

技術參數

1、電源：AC220V，50HZ，1.5KW

2、工作環境：濕度：20-90%，溫度20-30℃

3、處理Wafer尺寸：200mm以下，向下兼容

4、熱盤溫度控制：室溫至200℃，控溫精度±0.5℃，工作區溫度均勻性 小于±1%

5、基片頂升系統：頂升高度0-15mm，高度分辨率0.1mm 膠液流速范圍 1-20ml/min可調

6、熱盤電機額定轉速：1000rpm

7、XY電缸移動大速度：X軸200mm/s，Y軸200mm/s

8、XY電缸有效行程：300mm×300mm

9、超聲波霧化粒徑：30-50μm

10、操作系統：人機互動界面，PLC控制

11、噴嘴移動方式：電動機械組合XYZ三軸電缸

產品規格

1、機器尺寸：1000mm×880mm×1800mm （長×寬×高）

2、重量：55Kg