TFMS-LD反射光譜薄膜測厚儀

產(chǎn)品型號

  TFMS-LD反射光譜薄膜測厚儀

測量膜厚范圍

15nm-50um

光譜波長

400 nm - 1100 nm

主要測量透明或半透明薄膜厚度

• 氧化物

• 氮化物

• 光刻膠

• 半導(dǎo)體（硅，單晶硅，多晶硅等）

• 半導(dǎo)體化合物（ALGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS等）

• 硬涂層（碳化硅，類金剛石炭）

• 聚合物涂層(聚對二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)

• 金屬膜

特點(diǎn)

• 測量和數(shù)據(jù)分析同時(shí)進(jìn)行，可測量單層膜，多層膜，無基底和非均勻膜

• 包含了500多種材料的光學(xué)常數(shù)，新材料參數(shù)也可很容易地添加，支持多重算法:

  Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等

• 體積較小，方便擺放和操作

• 可測量薄膜厚度，材料光學(xué)常數(shù)和表面粗糙度

• 使用電腦操作，界面中點(diǎn)擊，即可進(jìn)行測量和分析

精度

0.01nm或0.01%

準(zhǔn)確度

0.2%或1nm

穩(wěn)定性

0.02nm或0.02%

光斑尺寸

標(biāo)準(zhǔn)3mm,可以小至3um

要求樣品大小

大于1mm

分光儀/檢測器

400 - 1100 nm 波長范圍

光譜分辨率: < 1 nm

電源 100-250 VAC, 50/60 Hz 20W

光源

5W的鎢鹵素?zé)?/span>

色溫：2800K

使用壽命:1000小時(shí)

反射探針

光學(xué)纖維探針，400um纖維芯

配有分光儀和光源支架

載樣臺

測量時(shí)用于放置測量的樣品

通訊接口

USB接口，方便與電腦對接

TFCompanion軟件

強(qiáng)大的數(shù)據(jù)庫包含兩500多種材料的光學(xué)常數(shù)（n：折射率，K：消失系數(shù)）

誤差分析和模擬系統(tǒng)，保證在不同環(huán)境下對樣品測量的準(zhǔn)確性

可分析簡單和復(fù)雜的膜系

設(shè)備尺寸

200x250x100mm

重量

4.5kg