生長納米線CVD爐OTF-1200X-4-NW

產(chǎn)品型號

　生長納米線CVD爐OTF-1200X-4-NW

主要特點

   1、由OTF-1200X-4單溫區(qū)爐演變而來的緊湊型CVD爐。

   2、內(nèi)爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層，可以提高設備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。

   3、帶樣品支架的右法蘭是滑動的，方便樣品的快速取放。

   4、左側的小加熱器可對輸入CVD 爐的氣體、液體、固體或混合物進行預加熱，不銹鋼加熱腔外徑

         30mm、長150mm，zui高工作溫度600℃。

   5、左邊法蘭（在加熱器與CVD爐之間）裝有4個1/4″卡套連結的通氣管，具有密封和氣體通道的作

         用。

   6、PID自整定數(shù)字控制器 ，可以設置30段升降溫程序。

   7、選配相關軟件可用計算機進行控溫。

   8、已通過CE認證。

技術參數(shù)

   1、額定電壓：單相AC 220V  50/60Hz  

   2、額定功率：3KW（需20A的空氣開關）

   3、石英管：外管外徑Φ110mm，內(nèi)徑Φ102mm，長381mm

   4、加熱區(qū)域：CVD爐400mm，加熱器150mm，

   5、工作溫度：CVD爐zui高1100℃（<2h），連續(xù)工作200℃-1000℃，zui大升降溫速率10℃/min；

          　　          加熱器連續(xù)工作0-500℃，zui大升降溫速率10℃/min

   6、控溫精度：±1℃

   7、熱電偶：K型

   8、右法蘭：一個3″石英樣品支架，與石英擋板、法蘭連成一體，設有KF25真空快接口，以及水冷接

                        口（可選配水冷機，避免O型圈融化）

   9、左法蘭：有2個獨立1/4″口，可單獨將任何氣體通入爐內(nèi)，一路1/4″口將預熱氣體通入CVD爐，一

                        路1/4″口將不加熱的氣體通入爐內(nèi)，并通過爐內(nèi)的T型結構與加熱氣體匯合

產(chǎn)品規(guī)格

　尺寸：1200mm×450mm×510mm；重量：100kg

可選配件

   1、水冷機

   2、控溫軟件