帶滑動法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV

產(chǎn)品型號

  帶滑動法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV

主要特點

  1、雙層殼體，配有冷系統(tǒng)，爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料。

  2、內(nèi)爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高反射率和保護爐膛潔凈度。

  3、一端法蘭配有滑軌，便于樣品裝卸；另一端法蘭裝有數(shù)字真空計。

  4、采用三個獨立PID控制器 ，可以設(shè)置30段升降溫程序，設(shè)有過熱和斷偶保護功能。

  5、已通過CE認證。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源：單相AC 208-240V   50/60Hz  7KW （40A保險絲）

  2、石英管：外徑Φ125mm，內(nèi)徑120mm，長1400mm，帶有一對真空密封法蘭

  3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲

  4、加熱區(qū)域：溫區(qū)I長229mm，溫區(qū)II長457mm，溫區(qū)III長229mm，總長915mm

  5、恒溫區(qū)域：三個溫區(qū)為同一溫度時為625mm，溫區(qū)II為110mm

  6、工作溫度：zui高1200℃，連續(xù)工作1100℃

  7、zui大升降溫速率：20℃/min

  8、控溫精度：±1℃

  9、熱電偶：K型

  10、浮子流量計：3個，量程0-100ml/min、0-160ml/min、0-250ml/min

  11、數(shù)字真空計：10^-4torr

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：管式爐1080mm×430mm×600mm；重量：70kg